芯片制造的曝光-刻蝕過程與沖印照片原理類似,也有人形容像雕刻,只不過光刻機(jī)雕的是芯片,“刀”是光。光刻機(jī)的工藝決定著芯片的尺寸和性能,是生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片最重要的設(shè)備之一。
1984年,S&I與ASM成立合資公司阿斯麥,雙方各占50%股份。飛利浦和ASM原本約定各向合資公司注資210萬美元,但刨除價(jià)值180萬美元的17臺(tái)光刻機(jī)和其他庫存后,飛利浦只給阿斯麥賬戶轉(zhuǎn)了30萬美元。當(dāng)時(shí),光刻機(jī)市場有10個(gè)玩家,既有占據(jù)較大市場份額的美國GCA和Perkin-Elmer,也有正虎視眈眈的新秀日本尼康和佳能,阿斯麥墊底。
阿斯麥的首任首席執(zhí)行官賈特·斯密特是一位敏銳的科學(xué)家,他聽完各類不利消息,反倒對阿斯麥有信心。在他看來,阿斯麥的光刻技術(shù)領(lǐng)先時(shí)代,其對準(zhǔn)技術(shù)非常先進(jìn),“電動(dòng)晶圓臺(tái)”會(huì)成為阿斯麥獨(dú)有的賣點(diǎn)。只要再具備優(yōu)秀的光學(xué)元件,阿斯麥就可以創(chuàng)造出世界級的產(chǎn)品。對準(zhǔn)技術(shù)、晶圓臺(tái)、光學(xué)鏡頭三大零部件,未來也將成為阿斯麥產(chǎn)品的利器。
斯密特相信,只要能在兩年內(nèi)制造出一臺(tái)滿足制造商需求的新設(shè)備,阿斯麥就可以實(shí)現(xiàn)彎道超車,成為行業(yè)內(nèi)第一。畢竟,在新技術(shù)面前,所有玩家站在同一個(gè)起跑線上。自此,阿斯麥奪命狂奔推新品的上半生,開始了。
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